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    電子芯片潔凈車(chē)間建設(shè)要求

    發(fā)布時(shí)間: 2024-09-13  點(diǎn)擊次數(shù): 41次


    電子芯片潔凈車(chē)間是指在車(chē)間內(nèi)空氣中粒子濃度、微生物數(shù)量、溫濕度、氣流速度和氣壓等參數(shù)都在可控范圍內(nèi),以滿(mǎn)足生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品質(zhì)量要求的一種特殊工業(yè)建筑。博泰小編帶大家了解相關(guān)知識(shí)。

     

    一、空調(diào)系統(tǒng)

    空調(diào)系統(tǒng)是電子芯片潔凈車(chē)間的主要暖通設(shè)備,其作用是調(diào)節(jié)車(chē)間溫濕度和氣流速度等參數(shù),保持車(chē)間潔凈度和舒適性。

     

    二、裝修材料

    在電子芯片潔凈車(chē)間的裝修材料選擇上,需要考慮到其對(duì)潔凈環(huán)境的影響,也要保證其具備抗靜電能力,建議選擇防靜電地板、墻面、天花板等材料。

     

    三、純水系統(tǒng)

    電子芯片潔凈車(chē)間生產(chǎn)過(guò)程中需要使用大量的純水,需要配置純水系統(tǒng)。純水系統(tǒng)應(yīng)該包括前置處理系統(tǒng)和純化系統(tǒng),以確保供應(yīng)的純水能夠滿(mǎn)足車(chē)間生產(chǎn)的要求。

     

    四、照明設(shè)計(jì)

    在電子芯片潔凈車(chē)間的照明設(shè)計(jì)上,應(yīng)該選擇具備防靜電功能的照明設(shè)備。建議采用冷光源或LED燈管,以減少熱量的輻射和散熱還,需要考慮到照明的均勻性和亮度。

     

    五、供氣系統(tǒng)

    電子芯片潔凈車(chē)間生產(chǎn)過(guò)程中需要使用大量的氮?dú)?、氫氣等氣體,因此需要配置相應(yīng)的供氣系統(tǒng)。供氣系統(tǒng)應(yīng)該包括儲(chǔ)氣罐、氣體過(guò)濾、氣體干燥等設(shè)備,以確保供應(yīng)的氣體質(zhì)量和穩(wěn)定性。

     

    六、廢氣廢水處理系統(tǒng)

    在電子芯片潔凈車(chē)間的生產(chǎn)過(guò)程中,會(huì)產(chǎn)生大量廢氣和廢水,為了保證環(huán)境的潔凈和生態(tài)環(huán)保,必須配置相應(yīng)的廢氣廢水處理系統(tǒng)。廢氣處理系統(tǒng)主要包括排風(fēng)系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng),廢水處理系統(tǒng)主要包括污水收集、預(yù)處理和處理系統(tǒng)。

     



    電子芯片潔凈車(chē)間建設(shè)要求